荷蘭又能賣光刻機給中國了,還不用美國許可!幾個意思?

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「」來源:觀察者網 新智元當地時間10月14日,半導體巨頭、全球光刻機領頭企業ASML首席財務官羅傑·達森(Roger Dassen),對向中國出口光刻機的問題作出了表態。他表示,ASML可以從荷蘭向中國出口DUV(深紫外)光刻機,無需美國許可。

來源:觀察者網 新智元

當地時間10月14日,半導體巨頭、全球光刻機領頭企業ASML首席財務官羅傑·達森(Roger Dassen),對向中國出口光刻機的問題作出了表態。他表示,ASML可以從荷蘭向中國出口DUV(深紫外)光刻機,無需美國許可。

當天,ASML發布了其2020年第三季度財報,達森也一同接受了視訊採訪。當被問及美國的半導體出口禁令對ASML的業務有何種影響時,達森回應稱,他們注意到了美方的禁令,也意識到了禁令對中國客戶的影響。

隨後達森對ASML的光刻機出口問題作出了解釋,他說:「如果要解釋一下美國的規定對ASML有什麼影響的話,對於的中國客戶,我們還是可以直接從荷蘭向他們出口DUV光刻機,無需任何出口許可。」

但他隨後也補充稱,如果相幹系統或零件是從美國出口的,那這些設備仍然需要得到美方的許可。

荷蘭又能賣光刻機給中國了,還不用美國許可!幾個意思?

荷蘭又能賣光刻機給中國了,還不用美國許可!幾個意思?

採訪視訊截圖

達森表示,ASML將盡最大努力,盡可能為所有客戶繼續提供服務和支持。

根據公開的財報電話會議錄音,ASML首席執行長彼得·韋尼克(Peter Wennink)也在會議上確認了這一點。韋尼克稱,根據當前美國的規定,直接從荷蘭向中國出口的DUV光刻機不受影響。

但達森和韋尼克都強調的是DUV光刻機出口,並未提到更先進的EUV(極紫外)光刻機。彭博社14日在報導中也強調,DUV的規則不適用於EUV光刻機。ASML必須獲得許可證才有可能向中國企業出口EUV光刻機。但荷蘭政府已經暫緩了EUV光刻機出口許可,一直到現在都沒有批準。

DUV光刻機與EUV光刻機什麼區別?

中低端與高端的區別。

EUV光刻機則是實現7nm的關鍵設備,如果中國大陸無法引入ASML的EUV光刻機,則意味著大陸將止步於7nm工藝。

目前中芯國際訂購了一臺EUV。價格貴,但不是隻買一臺的唯一原因,而是買多了,現在真用不上。

有微電子博士解析,就這一臺,還是著眼於兩三代技術節點之後的產品研發(14nm ->10nm -> 7nm -> 5nm)。必須要用EUV的,是5nm以及以下,直到7nm,DUV都夠用。

「三星,英特爾和臺積電瘋搶EUV,是因為他們目前就要用。三星和臺積電都已經開始攻堅3nm了。而中芯國際,在logic device領域,確實還是第二梯隊的,下一代和下下代研發,都不是非EUV不可,DUV完全夠用。需要多沉下心來多琢磨光刻工藝。」

荷蘭又能賣光刻機給中國了,還不用美國許可!幾個意思?

而更為重要的是,ASML是全球唯一一家能夠量產EUV光刻機的廠商。

貴,而且稀有。

EUV光刻機的價格約為1.48億歐元,折合人民幣大概11.65億元左右。而且ASML的EUV光刻機也產量很低,供不應求,必然會優先考慮自己的大客戶,如臺積電等。

所以,雖然消息是好消息,但現實情況可能是,DUV可解燃眉之急,但自研之路仍要走!

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